半導体関連装置

インラインＸ線膜厚・密度モニターなど、半導体プロセスにおける各種薄膜材料の膜厚・組成分析、表面汚染分析などのニーズに応えます。

薄膜評価用蛍光Ｘ線分析装置など、半導体研究開発における薄膜構造評価、膜厚・組成分析などのニーズに応えます。