粉末Ｘ線回折装置
全自動水平型多目的Ｘ線回折装置 SmartLab
SmartLabは、幅広い分析手法や各種材料に最適な測定テクニックを知り尽くしたリガクの測定スペシャリストが、そのノウハウをパッケージ化することに成功し、業界ではじめて装置が最適条件を教えてくれるガイダンス機能を実現した装置です。膜厚測定、配向測定、粒径空孔径分布測定など、従来難しかった薄膜材料の測定を、専門的な知識がなくとも可能にしました。
本製品は第36回機械工業デザイン賞 最優秀賞・経済産業大臣賞を受賞しました。
製品の特長・仕様
- ガイダンス機能 リガクの分析ノウハウを凝縮したSmartLab GuidanceTMソフトウェアが、各アプリケーションに最適な光学系ユニットの選択から、測定条件の設定・実行までの測定シーケンスを自動的に設定します。
- CBOテクノロジー リガクの特許技術であるCross Beam OpticsTM（CBO）を標準装備し、各種基本光学系の切替え操作をシンプルにしました。また、リガク独自の光学系調整機能をさらに進化させ、各種高分解能光学系の設定・最適化調整を自動化しました。
- 消費電力半減、Ｘ線強度3倍 新開発の回転対陰極式Ｘ線源と各種光学系の組み合わせにより、従来比3倍のＸ線強度を実現しながら、ランニングコストを半減させています。
- 試料水平保持方式 薄膜試料に歪み等を与えることなく取り付けることができ、最大サイズ8インチφの試料の測定、および4インチφの場合はエリアマップ測定が可能です。
- 多彩な薄膜評価手法を身近に
サンプルの設計膜厚や予想される結晶性などを入力するだけで、そのサンプルに最適な測定手順が設定されます。
Guidanceソフトウェア対応薄膜評価アプリケーション：組成分析、方位・配向分析、結晶性評価、格子緩和評価、格子歪・残留応力評価、膜厚分析、界面ラフネス分析、密度分析、面内均一性評価など - 小角散乱測定をシンプルに
リガクが独自に開発したソフトウェアNANO-SolverTMを用いて、小角散乱データの詳細な解析が簡単にできます。
NANO-SolverTM対応各種小角散乱アプリケーション：液体分散ナノ粒子の粒径分布解析、薄膜またはバルク中ナノ粒子/空孔のサイズ分布解析、ナノ粒子/空孔の形状評価、不規則な電子密度分布の相関関数解析など - 粉末解析を簡単に
SmartLabはサンプル情報に基づいて測定光学系を提案し、光学素子の設定、測定条件の設定、そしてデータ測定までの一連のプロセスを、ユーザーフレンドリなダイアログを通じて支援します。
各種粉末アプリケーション：定性分析、定量分析、結晶化度評価、結晶子サイズ/格子歪評価、格子定数の精密化、Rietveld解析など - ユニット交換作業の簡素化 接触型コネクタ方式採用により、測定目的に応じてユニットを交換する際に、ケーブル類の抜き差しや電源OFFの必要がありません。どなたでも試料交換や光学系交換が容易に行えます。
- 人間工学に基づいた装置デザイン 背の高い人にも頭部に圧迫感を与えず自然な操作性を確保しました。また、起立、着座にかかわらず測定室の中を確認できるよう、それぞれの視線に合わせた上下二面の窓の位置設定により、視認性を向上させました。
| アプリケーション例：GaN薄膜の結晶性（チルト・ツイスト分布）の評価 |  |
| アプリケーション例：ラビング処理ガラス基板上 Cuフタロシアニン薄膜の分子配向評価 | |
| アプリケーション例：有機TFT用薄膜ペンタセンの回折測定 | |
