粒径・空孔径解析

金属ナノ粒子では粒子径が数十nm以下とバルクの粒子と多くの点で異なる特性を持つことから粒子径を評価することが必要となっています。X線小角散乱法を用いて粉末や液体中の分散粒子、薄膜中に分布する粒子または空孔の径を算出することができます。

• 白金ナノ粒子の凝集に対する温度や雰囲気の影響を調べる
• ポリイミノドフィルム中の銅ナ粒子の粒子径分布測定
• 粒子径によって異なる蛍光発光スペクトルを示すCdSeナノ粒子の粒径分布
• Ｘ線小角散乱法によるサブナノ金粒子のサイズ分布評価
• 多孔質物質の細孔径分布を調べる
• 金ナノ粒子のサイズ分布を調べる
• すれすれ入射Ｘ線散乱法による低誘電率層間絶縁膜（Low-K）膜の評価

• 試料水平型多目的Ｘ線回折装置　UltimaIV
• 試料水平型強力Ｘ線回折装　RINT-TTRIII
• 自動Ｘ線回折装置　RINT 2500/PCシリーズ 小角ゴニオ
• 薄膜評価用試料水平型Ｘ線回折装置 SmartLab^®

• 定性・定量
• 格子定数
• 結晶子サイズと格子歪
• 粒径・空孔径解析
• 単結晶構造解析
• 粉末構造解析
• ナノ構造評価
• 結晶方位解析
• 極薄膜評価
• 極点