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元素情報に関するもの

深さ方向分析


深さ方向の元素分布を評価するにはグロー放電発光分析が有効です。他の手法に比べ高速であり、高感度分光器によってH，C，N，Oといった超軽元素の評価も可能です。
全反射蛍光Ｘ線分析装置で照射角度依存性測定を行うことによっても、深さ方向の元素の分布の様子を探ることができます。
その他、Ｘ線回折装置を用いたインプレーン測定では、試料の方位、格子定数、組成などの深さ方向の変化を調べることができます。
深さ方向分析の参考グラフ２

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