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X
線
回折による
機能性酸化物薄膜の評価
稲葉克彦
株式会社リガク
X
線研究所
2015
年第
76
回応用物理学会秋季学術講演会
2015
年
09
月
14
日
@
名古屋国際会議場
14p-1B-4
合同セッション
K
シンポジウム
「
酸化物半導体の評価技術
」
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「Ｘ線回折による機能性酸化物薄膜の評価」 [14p-1B-4] 講演資料 (PDF:3,822KB)
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