新製品紹介

ガイダンス機能搭載、だれでも高度な測定が可能
薄膜材料用試料水平型X線回折装置を開発

2005年7月6日

専門的な測定がだれにでも行え、有機薄膜、次世代磁性膜など各種薄膜材料の開発を強力に支援する、薄膜材料用試料水平型X線回折装置SmartLab(スマート ラボ)を開発しました。7月8日より日米同時に販売を開始します。

同装置は、分析のノウハウを集約しガイダンス機能をパッケージしたソフトウェアの開発により、膜厚測定、配向測定、粒径空孔径分布測定など、従来難しかった薄膜材料の測定を、専門的な知識がなくとも、どなたでも可能とした装置で、測定光学系のセッティングから試料の測定までを自動化しています。分析目的に応じて交換する測定光学系は、それぞれのパッケージにより、正しい光学系が構築できるように案内されます。
フレキシブルディスプレイとして注目される有機EL膜、青色レーザーに使用されるGaN(窒化ガリウム)単結晶薄膜、超高密度磁気記録媒体として研究されている次世代磁性膜など、各種薄膜材料の開発を強力に支援します。

測定光学系に最適化するという、発想の転換により開発された新しい回転対陰極式X線源は、従来比3倍のX線強度を実現しながら、消費電力を18kWから9kWに半減させ、ランニングコストの低減とともに、省エネ、環境に配慮しています。さらに、世界に例のない独自の回転対陰極式X線源を用いた試料水平配置方式の採用によって、薄膜試料取り付けの際歪み等を与えることなく、大口径試料測定に対応し、作業性も大幅に向上させています。

同装置は、8月1日(月)から8月5日(金)まで米国コロラド州で開催されるデンバーX線国際会議、および8月31日(水)から9月2日(金)まで幕張メッセで開催される2005分析展に出品展示いたします。

主な特長

  • SmartLabは、薄膜用X線回折装置シリーズの最上位機種に相当します。
  • 分析目的別パッケージソフトウェアは、分析のノウハウを集約。煩雑な薄膜測定の手順を自動化し、正しい光学系が構築できるように案内します。どなたでも高度な測定が可能となりました。
  • 新開発の回転対陰極式X線源と各種光学系の組み合わせにより、従来比3倍のX線強度を実現しながら、ランニングコストを半減させています。
  • 試料水平保持方式の採用により、薄膜試料に歪み等を与えることなく取り付けることができ、最大サイズ8インチφの試料の測定、および4インチφの場合はエリアマップ測定が可能です。
  • ケーブル類の接続が不要なアタッチメントコネクタを新開発しました。
  • 人間工学に基づいた装置デザインを採用しましたので、どなたでも試料交換や光学系交換の作業が容易に行えます。

装置の外観

測定部
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