新製品紹介

真のサブミクロン3D観察を実現

-高分解能3DX線顕微鏡を開発-

2012年8月24日

株式会社リガクは、独自の高輝度X線発生装置と高分解能X線カメラの組合せにより、真のサブミクロン領域が観察できる 高分解能3DX線顕微鏡 nano3DX を開発しました。

生体材料、高分子材料、複合材料、薬剤、軽金属などの研究・開発においては、サブミクロンスケールで試料内部の3次元構造を観察することが、材料の諸性質を理解する上で極めて重要になってきています。nano3DXはこれらの材料の微細構造の解明と定量計測に威力を発揮します。

nano3DXは、最小270nm/pixelの画素サイズを持つ新開発の高分解能X線カメラにより、X線源の焦点サイズを絞らなくても高分解能を得られる方式を採用しました。これによって、X線焦点の熱ドリフトによる影響が小さくなり、高分解能のCT撮影において長時間にわたり多数の透過像の撮影が必要な場合でも、安定した画像を取得することができます。画素サイズは、異なった倍率のレンズを採用することにより、最小270nm/pixelから4.32μm/pixelまで選択が可能です。

用途に応じた適切なX線エネルギーが選択可能で、密度差が小さく従来のX線顕微鏡では観察が困難であった樹脂中の炭素繊維や異なる種類の有機材料が混合した様子も、高コントラストで観測することができます。

画素数3300×2500の大面積X線検出器を採用することにより、例えば、画素サイズ540nm/voexlでも、およそ2mmの視野を確保することができる上、独自の技術により、更に最大視野20mm×15mmの大視野高分解能測定も可能としました。

主な特長

  • 3次元分解能:800nm
  • 2次元分解能:600nm
  • 密度分解能:0.13g/cm3
  • 大視野高分解能:画像接続により最小画素サイズ270nm/pixelで最大視野20mm×15mmの撮影が可能
  • X線波長選択:Cr、Cu、Mo、Wより選択可能
nano3DX
装置の外観
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