新製品紹介

上面照射型で、アプリケーション自動設定機能を搭載
蛍光X線分析装置の最新機種「ZSX Primus IV」を発表

2015年9月1日

この度リガクは、アプリケーション自動設定機能を備えた走査型波長分散蛍光X線分析装置「ZSX Primus IV」の販売活動を9月2日より開始することを発表します。装置の機能・性能を大幅に向上させると共に、アプリケーション自動設定機能やヒューマンエラー防止機能を備えるソフトウェア「ZSX Guidance」により、分析初心者でも正確な分析結果を得られるようサポートします。

汎用元素分析装置として知られる蛍光X線分析装置において、波長分散型は、エネルギー分散型に比べて検出感度およびスペクトル分解能が高いという特長があります。極微量の元素を非破壊で検出できるという特性を生かし、研究機関や、企業の品質管理などで広く活用されています。中でも上面照射タイプは、粉末試料に対して飛散の心配が少なく加圧成形性を向上させるバインダーや試料フィルム等も通常は不要であり、バインダーとの混合による不均一性、試料保護フィルムによる感度低下、フィルム不純物の影響を受けることなく高精度に分析できることが特長です。

ZSX Primus IVは、上面照射のメリットをそのままに、さまざまな機能強化を行いました。最大の強化ポイントは、新たに標準搭載するZSX Guidanceソフトウェアです。本ソフトウェアは、標準値と試料情報を入力するだけで測定条件や各種補正条件を自動的に設定する定量アプリケーション自動設定機能をはじめ、オペレーターごとにソフトウェアへのアクセスレベルを設定できるヒューマンエラー防止機能などを実装し、だれもが扱いやすい操作画面を利用しながら測定をすることができます。

ガラス・セラミックス分野から強い要望のあったホウ素の測定は、専用の分光結晶を開発したことで、従来比30%の感度向上を実現しました。さらに、独自の真空度制御機構APC(Auto Pressure Control)の性能向上で、測定部の真空度はより安定化し、超軽元素を含む軽元素をより高精度に測定することができます。

内蔵する高解像度カメラで試料の画像を観察しながら測定位置指定し、ポイント・マッピング測定を行うことも可能です。試料ステージはr-θ駆動方式を採用し(ステージの最小ステップ幅は100マイクロメートル)、軽元素・超軽元素も測定対象とした高精度なマッピング測定への要求に十分にこたえられるスペックとなっています。


9月2日から4日に幕張メッセで開催されるJASIS 2015に出展します。

主な特長

  • 上面照射型
    試料の上面からX線を照射するため、試料の落下の心配がなく、軽元素や粉末試料を分析するお客様に、多大なメリットがあります。一方、下面照射型の場合、試料落下での光学系汚染による感度低下や装置の損傷リスクがあります。
  • ZSX Guidance
    標準試料を用いた検量線作成において、試料情報をインプットし、専用の自動予備測定を行えば、分析線・光学系の設定から共存元素補正、重なり補正が自動的に設定されます。蛍光X線分析技術に関するデータベースと高度な判断機能が組み込まれたソフトウェアが専門家並みの働きをすることで、はじめて実現しました。ビジュアルな画面を使って高度な分析を実行できるだけでなく、初心者にも優しいソフトウェアです。
  • 高速分析
    X線計数システムへのデジタル・マルチチャンネル・アナライザー(D-MCA)の搭載により、高速デジタル処理による高計数率域までの計数直線性を実現しました。また、ゴニオメーターの走査速度の高速化や、真空度制御の高速化を図った結果、スループットは前装置と比較して、定量分析で20%、定性分析で40%向上しました。
  • WDXシステムによるポイント・マッピング分析
    r-θ駆動の試料ステージを採用しました。内蔵の高精度カメラで分析部位を確認しながら、波長分散方式の優れたスペクトル分解能を生かし、超軽元素まで100マイクロメートルのマッピング位置分解能による正確なポイント・マッピング測定が可能です。
  • 軽元素用ガスシールド型プロポーショナルカウンター
    新開発のガスシールド型検出器「S-PC LE」により、検出器用ガスボンベの設置を不要にし、分析におけるガス排出もなく、装置設置条件が緩和されました。
  • アプリケーションパッケージを拡充
    主に海外のお客様から要望の強かった産業別アプリケーションパッケージを拡充しました。 検量線を出荷時に格納する「プリキャリブレーションパッケージ」や、標準試料と分析条件がセットになった「アプリケーションパッケージ」、特定品種に特化したSQX(半定量分析)用「マスターマッチングライブラリー」などを取り揃えて、ユーザの分析業務のスタートアップを支援します。
ZSX Primus IV

製品の外観
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