学会・講演会等発表

学会・講演会等発表

学会・講演会などでの発表をご紹介いたします。

Applied Physics Express, vol.13, (2020)

発表先
Applied Physics Express, vol.13, (2020) 065502-1 - 065502-5
発表日
2020/05/04
タイトル
Evolution of implicate order from amorphous to polycrystalline Sn-doped In2O3 films determined by in situ two-dimensional X-ray diffraction measurements
要旨
ガラス基板上に成膜された厚さ50nmの非晶質ITO透明導電膜について、SmartLab+HyPix-3000を用いて加熱in-situ測定を行い、その固相結晶化ダイナミクスを追跡し、秩序組織形成過程について議論しています。
(https://iopscience.iop.org/article/10.35848/1882-0786/ab8b6b  )