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祝! 青色LED ノーベル物理学賞受賞

~名古屋大学 天野先生からリガクへコメントをいただきました~

2015年 2月 2日

 2014年10月7日、スウェーデン王立科学アカデミーは、「20世紀は白熱灯が照らし、21世紀はLED が照らす」として2014年ノーベル物理学賞を青色LEDの発明とその実用化に貢献した3人の日本人の研究者に贈ると発表、その後2014年12月10日(日本時間11日未明)スウェーデンの首都ストックホルムでノーベル物理学賞の受賞式が開催されました。受賞された名城大学赤﨑勇終身教授、名古屋大学天野浩教授、米カリフォルニア大学中村修二教授には、青色LED 開発時からリガクのX線装置をご利用いただいております。
昨年11月に受賞のお祝いのため名古屋大学天野先生を表敬訪問させていただいた際、リガクについてコメントを頂戴しました。

<リガクの印象について>
~ X線のプロ集団、X線回折測定に不慣れなユーザーにも技術者がサポート ~

 「青色LED の研究に着手してから30年が経ちました。これまでリガクのX線研究所や設計の方々にお世話になりました。リガクは熟練したX線の技術者が集う、専門家集団というイメージがあります。われわれは、X線については結晶学者では無くユーザーという立場なので、必要な結果が出せるツールが必要でした。学生から助手の頃、リガクの装置は専門家向けで若干使いづらいという印象を持っていましたが、リガクの良かったところは、こちらがこういうことをやりたいと伝えると、それを理解してくれる技術者が必ずいて、依頼した測定や新たな測定技術の提案に、熱心に取り組んでくれたことです。
 ガリウムナイトライド(GaN)は極性半導体なので、その極性を見ることは非常に重要です。X線でGaNの極性をみる方法がなかったのでそれに取り組んでもらいました。その結果、2006年に金ターゲットのX線回折を使った異常分散によるGaNの極性評価方法について、リガクと共同で論文発表することができました。あの結果は大変素晴らしかったと思います。」

<今後、リガクに期待すること>
~ GaN の評価装置として、X線分析はますます重要 ~

「これからも、我々はGaN を中心に研究します。今後、GaN 結晶はX線のトポ装置(*1)で評価できるぐらいの良い品質になっていくので、特に、トポの装置が非常に重要になると思います。GaN はSiやGaAsとは結晶品質が大きく異なるので、専用の分析装置が必要です。
最近は、X線顕微鏡で、0.3mm角のLED チップの中のワイヤーが離れているか、離れていないかをエポキシ樹脂をはがさないで見ることができました。動作確認で不良になった時の故障診断で大変役に立ちました。異常分散を利用した極性評価もそのうちにまた取りかかりたいと思っています。」

リガクは、今後もGaN のご研究に役立つ技術の提供に、鋭利努力してまいります。

<ご利用いただいている装置の紹介>

SmartLab
膜厚測定、配向測定、粒径空孔径分布測定など、従来難しかった薄膜材料の測定を、専門的な知識がなくとも可能にした装置です。幅広い分析手法や各種材料に最適な測定テクニックを知り尽くしたリガクの測定スペシャリストが、そのノウハウをパッケージ化することに成功し、装置が最適条件を教えてくれるガイダンス機能を実現しました。

全自動水平型多目的X線回折装置 SmartLab

全自動水平型多目的X線回折装置 SmartLab

○(*1)X線トポグラフ装置
Si、SiC、GaN、Ge、GaAs、水晶、LN、LT、サファイヤ、ルチル、蛍石、その他さまざまな単結晶材料を対象に、非破壊で「結晶の不完全性の評価」「積層欠陥像」「転位像」「析出物の点状像」「不純物濃度変化による、ゆるい縞状コントラスト」を検出することができる装置です。

X線トポグラフイメージングシステム

X線トポグラフ装置

以下、青色LED 関連論文(リガクと共著)

  • T. Deguchi, D. Ichiryu, K. Toshikawa, K. Sekiguchi,T. Sota, R. Matsuo, T. Azuhata, M. Yamaguchi, T.Yagi, S. Chichibu and S. Nakamura: J. Appl. Phys.,86, 1860 (1999).
  • Takahiro Deguchi, Kaoru Sekiguchi, Atsushi Nakamura, Takayuki Sota, Ryuji Matsuo, Shigefusa Chichibu and Shuji Nakamura: Jpn. J.Appl. Phys., 38, L914 (1999).
  • Katsuhiko Inaba and Hiroshi Amano: Phys. Stat.Sol. B, 244, 1775 (2007).
  • Daisuke Iida, Mihoko Sowa, Yasunari Kondo, Daiki Tanaka, Motoaki Iwaya, Tetsuya Takeuchi, Satoshi Kamiyama and Isamu Akasaki: J. Cryst. Growth, 361, 1 (2012).

青色LED 関連のリガクジャーナル記事

  • 稲葉克彦, “GaN 材料の評価技法について(光エレクトロニクス・パワーデバイス特集①)”: リガクジャーナル, 44, 2 (2013).

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